一种面发射太赫兹量子级联激光器及其制备方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112821186 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202110100819.5
(22)申请日 2021.01.26
(71)申请人 中国科学院上海技术物理研究所
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