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一种镀膜机阴极结构.pdf

发布：2023-03-07约6.44千字共7页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213388866 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022030180.1 (22)申请日 2020.09.16 (73)专利权人武汉科瑞达真空科技有限公司

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