一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112815141 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 201911116185.1
(22)申请日 2019.11.15
(71)申请人 湘潭宏大真空技术股份有限公司
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