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一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112815141 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 201911116185.1 (22)申请日 2019.11.15 (71)申请人 湘潭宏大真空技术股份有限公司
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