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一种离子刻蚀微调机用挡板装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114566419 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210139068.2 (22)申请日 2022.02.15 (71)申请人 北京精恒工控科技有限公司 地址 1
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