一种离子刻蚀微调机用挡板装置.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114566419 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202210139068.2
(22)申请日 2022.02.15
(71)申请人 北京精恒工控科技有限公司
地址 1
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