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一种单节长旋转ITO靶材烧结制备工艺.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113357925 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110473471.4 C04B 35/457 (2006.01) (22)申请日

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