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一种凝胶注模制备IGZO旋转靶材的制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113354393 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110787060.2 C23C 14/35 (2006.01) (22)申请日 2

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