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一种单晶棒自动拆卸的单晶炉及其拆卸方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112981517 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110299269.4 (22)申请日 2021.03.21 (71)申请人陈文地址 2145

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