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一种基于流延法带有翅片的陶瓷均热板结构及其制作方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112985134 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110342861.8 (22)申请日 2021.03.30 (71)申请人华南理工大学地址

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