一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统.pdf
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113375907 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110808481.9
(22)申请日 2021.07.16
(71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物
显示全部