文档详情

一种高精度六自由度光学组件的性能测试系统.pdf

发布:2023-06-19约7.27千字共8页下载文档
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113375907 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110808481.9 (22)申请日 2021.07.16 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物
显示全部
相似文档