一种硅片承载装置.pdf
文本预览下载声明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213401125 U
(45)授权公告日 2021.06.08
(21)申请号 202022812384.0
(22)申请日 2020.11.27
(73)专利权人 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙
显示全部