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一种硅片的收放料装置.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN221041077U

(45)授权公告日2024.05.28

(21)申请号202420093838.9

(22)申请日2024.01.15

(73)专利权人深圳市圭华智能科技有限公司

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