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一种双层气室的微型NDIR集成红外气体传感器.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113358596 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110629998.1 (22)申请日 2021.06.07 (71)申请人 大连理工大学 地址
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