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功率半导体器件及功率半导体器件的制造方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113394204 B (45)授权公告日 2022.07.15 (21)申请号 202010166471.5 H01L 23/31 (2006.01)

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