一种基于测量光路多重反射的相位调制双零差干涉仪.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112985623 B
(45)授权公告日 2021.07.27
(21)申请号 202110391840.5 G01B 9/02 (2006.01)
(22)申请日 2
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