一种制备高纯四氟化钛的方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114560497 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202210201877.1
(22)申请日 2022.03.03
(71)申请人 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限
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