SEM(扫描电子显微镜)的原理.pdf
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扫描电子显微镜( Scanning Electronic Microscopy, SEM )
扫描电镜( SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品
表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是,①有较高的放大倍数, 20-20 万倍之间
连续可调;②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,
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