具有分段的基板卡盘的承载头.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114466725 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202080068979.X (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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