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一种具有冷却结构的MPCVD设备基板台.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214142531 U (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202022205415.6 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人 长沙新材料产业研究院有限公司
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