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一种微小型设备用超薄压电超声电机及其驱动方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112994517 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110444227.5 (22)申请日 2021.04.23 (71)申请人 吉林大学 地址 13
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