一种微小型设备用超薄压电超声电机及其驱动方法.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112994517 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110444227.5
(22)申请日 2021.04.23
(71)申请人 吉林大学
地址 13
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