用于半导体设备的托盘调平机构及半导体工艺设备.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213150731 U
(45)授权公告日 2021.05.07
(21)申请号 202022122224.3
(22)申请日 2020.09.24
(73)专利权人 北京北方华创微电子装备有限公
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