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用于半导体设备的托盘调平机构及半导体工艺设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213150731 U (45)授权公告日 2021.05.07 (21)申请号 202022122224.3 (22)申请日 2020.09.24 (73)专利权人 北京北方华创微电子装备有限公
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