空间光调制器及其制备方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113391471 B
(45)授权公告日 2023.04.14
(21)申请号 202110658175.1 G02F 1/11 (2006.01)
(22)申请日 2021.06.
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