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一种下沉电极铌酸锂薄膜电光调制器及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113359330 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110698922.4 (22)申请日 2021.06.23 (71)申请人上海交通大学地址

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