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一种芯片键合机用夹持装置.pdf

发布：2023-02-10约7.94千字共9页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212461649 U (45)授权公告日 2021.02.02 (21)申请号 202021158589.5 (22)申请日 2020.06.19 (73)专利权人北京旭普科技有限公司

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