硅微机械谐振式陀螺仪.pdf
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硅微机械谐振式陀螺仪设计技术研究的开题报告.docx
硅微机械谐振式陀螺仪设计技术研究的开题报告
一、选题背景和研究意义
随着现代电子技术的不断发展和应用领域的不断拓展，各种微型传感器和MEMS器件已经广泛应用于生产、医疗、军事等领域。陀螺仪作为一种重要的惯性传感器，在导航、飞行控制、制导等领域中担任着至关重要的角色，其核心部件-振动结构是整个陀螺仪的关键。
目前，世界各地的研究机构都在积极研发新型的硅微机械式陀螺仪。硅微机电技术以其小型化、高精度、低功耗、高可靠性等特点，被认为是研发高性能陀螺仪的一种前景广阔的技术手段。其中，振动结构的设计是硅微机械陀螺仪研究的重中之重，本文将针对谐振式陀螺仪的振动结构设计展开深入研究。
二、研究内容和技术路线
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解耦型双质量硅微机械振动陀螺仪结构.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112833869 B
(45)授权公告日 2022.04.19
(21)申请号 202110014421.X CN 101135559 A,2008.03.05
(22)
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扇形梳齿驱动式体硅微机械隧道陀螺仪的设计与制备英文.pdf
第 17 卷 第 6 期 光学 精密工程 Vol . 17 No . 6
2009 年 6 月 Op tics and Preci sion Engineering J un . 2009
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双线振动硅微机械陀螺仪检测技术研究与试验的开题报告.docx
双线振动硅微机械陀螺仪检测技术研究与试验的开题报告
一、研究背景和意义
随着现代导航、航空、航天等领域的快速发展，高精度、高可靠性的惯性导航技术的需求越来越大。其中，陀螺仪作为惯性导航系统中最重要的部分之一，其精度和可靠性将直接影响导航精度和可靠性。因此，陀螺仪的性能研究与开发一直是航空航天领域的热点和难点。
在众多陀螺仪中，微机械陀螺仪因其体积小、重量轻、功耗低、可靠性高等特点越来越受到广泛关注。其中，双线振动硅微机械陀螺仪因其精度高、稳定性好、温度适应性强等优点被广泛研究和应用。双线振动硅微机械陀螺仪主要是通过检测微机械结构产生的振动相位差来实现精准测量旋转角度。
然而，目前双线振动硅微机
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抗冲击硅微机械陀螺仪结构设计关键技术研究.docx
抗冲击硅微机械陀螺仪结构设计关键技术研究
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技发展的浪潮中，惯性导航系统凭借其自主性强、隐蔽性好、抗干扰能力出色以及能实时提供载体的位置、速度和姿态等关键信息的显著优势，在众多领域得到了极为广泛的应用，已然成为不可或缺的重要技术。而陀螺仪作为惯性导航系统的核心部件，其性能的优劣直接关乎整个系统的精度和可靠性。
硅微机械陀螺仪，作为一种基于微机电系统（MEMS）技术的新型惯性传感器，自问世以来便备受关注。它巧妙地利用振动质量块在被物体带动旋转时产生的哥氏效应，实现对物体旋转角速度的精确测量。与传统的机械式陀螺仪、光学陀螺仪相比，硅微机械陀螺仪展现出诸多独特
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微机械陀螺仪李思卿.doc
微机械陀螺仪
陀螺仪的发展大致经历了下列几个过程：从20世纪50年代的液浮陀螺仪到70年代的动力调谐陀螺仪(又称挠性陀螺仪，DTG)，从20世纪80年代的环形激光陀螺仪(RLG)、光纤陀螺仪(FOG)到90年代的振动陀螺仪以及目前研究报导较多的微机械电子系统陀螺仪(简称微机械陀螺仪，MEMSG)。微机械陀螺仪在军事领域方面的应用尤为重要，如利用电子隧穿技术制造的微加速度计重6 g，灵敏度10-7g，完全能满足导航的要求；最近研制出的振动式微机械陀螺仪重100 mg，机械器件尺寸为1.2 cm×l+1.2 cm×1.2 cm，偏置稳定度为l～10(。)h，功耗不到1 w。由微机械陀螺仪和微加速度
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硅微陀螺仪零偏稳定性的优化.docx
第22卷第9期2014年9月
光学精密工程
OpticsandPrecisionEngineering
Vol.22No.9Sept.2014
文章编号1004-924X(2014)09-2381-08
硅微陀螺仪零偏稳定性的优化
赵阳，裘安萍，施芹，夏国明*,赵健
(南京理工大学MEMS惯性技术研究中心，江苏南京210094)
摘要：为了进一步提高硅微陀螺仪的零偏稳定性，使其满足更高精度应用场合的需求，研究了硅微陀螺仪零偏稳定性优化技术。以典型Z轴硅微陀螺仪为例，对影响其零偏稳定性的主要因素：机械耦合误差、电路耦合误差、机械热噪声、接口电路噪声进行了完整分析，并从抑制零偏温度漂移及输出噪声两
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微机械音叉陀螺仪的研究.doc
Ξ
微机械音叉陀螺仪的研究
罗晓章
周百令
王寿荣
张燕娥
(东南大学仪器科学与工程系 , 南京 210096)
摘 要 微机械音叉陀螺仪是一种用于测量角速度的微型惯性器件 ,在许多领域都有
极其广泛的应用 ,是当今微米/ 纳米技术发展的一个主要方向 . 本文论述了其结构组成 ,
分析了其工作机理 ,探讨了其检测电极的最佳间距 ,并给出了提高其灵敏度的途径 .
关键词 微机械 ;音叉陀螺仪 ;灵敏度
中图法分类号 U666 . 123
微机械音叉陀螺仪是在硅微结构的微米/ 纳米技术基础上发展起来的一类技术难度较大
的微机电系统 ( M EM S) . 它具有体积小 、重量轻
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一种新型MEMS谐振式陀螺仪测控装置.pdf
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210198392 U
(45)授权公告日
2020.03.27
(21)申请号 20192
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一种谐振陀螺仪通道误差标定校正方法.pdf
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114543843 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210246190.X
(22)申请日 2022.03.14
(71)申请人 中国船舶重工集团公司第七0七研
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基于自适应控制的硅微振动陀螺仪驱动电路研究.pdf
维普资讯
基于自适应控制的硅微振动陀螺仪驱动电路研究--第1页
基于自适应控制的硅微振动陀螺仪驱动电路研究・７３・
基于自适应控制的硅微振动陀螺仪驱动电路研究
王存超，王寿荣，夏敦柱
（东南大学仪器科学与工程系，江苏南京２１００９６）
摘要：硅微振动陀螺仪驱动模态的稳定性对其性能及可靠性有着重要作用。自激驱动能够使单个驱动模态稳定谐振在固
有频率上，但对于双驱动模态，由于微机械加工误差的影响，固有频率存在偏差，很难实现频率匹配。研究了基于自适应控
制的硅微振动陀螺仪的驱动电路设计，通过固定频率信号驱动和自适应调谐实现双驱动模态的一致性。理论仿真和实验
结果表明该设计切实可行。
关键词：自适应控
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基于神经网络的多尺度多参数硅微陀螺仪研究.docx
第29卷第8期
第29卷第8期2016年8月
Vol.29No.8Aug.2016
CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS
ANovelMethodofNeuralNetworkBasedonMulti-Scale
Multi-ParameterforSiliconMEMSGyroscope*
XUHan1，2，ZENGChao2*，HUANGQinghua2
（1.SchoolofElectronicandOpticalEngineering，NanjingUniversityofScienceandTechnology，Nanjing210094，China
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双线振动硅微陀螺仪驱动电路研究与试验的开题报告.docx
双线振动硅微陀螺仪驱动电路研究与试验的开题报告
一、课题背景及研究意义
双线振动硅微陀螺仪是一种高精度、小型化的惯性传感器，广泛应用于惯性导航、姿态控制、航空航天等领域。其中，驱动电路是双线振动硅微陀螺仪的核心部分，直接影响仪器的灵敏度、稳定性和精度。因此，深入研究双线振动硅微陀螺仪驱动电路的设计原理、优化方法及其性能特点，对于提高仪器的性能指标、降低制造成本、推动微纳技术的发展都具有重要的意义。
二、研究内容及思路
本文将重点研究双线振动硅微陀螺仪驱动电路的设计及其实验验证，具体内容包括以下几个方面：
1.双线振动硅微陀螺仪的工作原理及其性能特点分析
2.针对双线振动硅微陀螺仪的特点，设计具
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阵列式硅微陀螺仪结构设计技术研究的中期报告.docx
阵列式硅微陀螺仪结构设计技术研究的中期报告
中期报告：阵列式硅微陀螺仪结构设计技术研究
研究背景：
微机电系统（MEMS）技术的快速发展为惯性导航系统的发展提供了新的解决方案。硅微陀螺仪是MEMS惯性敏感器的一种重要型号，广泛应用于导航、飞行控制、姿态控制等领域。阵列式硅微陀螺仪由于具有多自由度、高精度、大动态范围、低成本等多方面的优势，因此受到了越来越广泛的关注。但是，阵列式硅微陀螺仪的设计和制造技术一直是一个难点，尤其是结构设计技术。
研究目的：
本研究的主要目的是探讨阵列式硅微陀螺仪结构设计技术，解决设计和制造过程中面临的一系列问题，提高其性能和稳定性。具体研究内容如下：
1.分析阵列式
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硅微陀螺仪小型化及其测控电路研究的开题报告.docx
硅微陀螺仪小型化及其测控电路研究的开题报告
一、课题背景:
随着现代工业、交通、通信、航空航天等领域的不断发展，对惯性测量技术精度、可靠性和适应性的要求越来越高，惯性测量器件的应用正日益广泛。其中，硅微陀螺仪是惯性测量技术的重要组成部分之一，具有体积小、重量轻、功耗低、动态性能好等优点，在惯性导航、无人驾驶、机器人、地震监测等领域得到广泛的应用和研究。
硅微陀螺仪中的信号处理和测控电路的设计是实现其高精度、高可靠性的关键。当前微电子技术和数字信号处理技术的不断发展，使得硅微陀螺仪小型化、高集成度、低功耗、高精度的实现成为可能。因此，该方向研究受到广泛关注。
二、研究目的：
本研究的目的是通过对