厂务系统常见英文简称.docx
CHHW
冰热水系统
CHW
中温冰水系统
CH-XX
中温冰机
HCH-XX
热回收冰机
CWP-XX
中温冷却水泵
CHP1-XX
中温冷冻水一次泵
CHP2-XX
中温冷冻水二次泵
CH-ET
膨胀水箱
LCHW
低温冰水系统
LCH-XX
低温冰机
LCWP-XX
低温冷却水泵
LCHP1-XX
低温冷冻水一次泵
LCHP2-XX
低温冷冻水二次泵
WW
温水系统
WWP
温水泵
HW
热水系统
SH
壳管式热交换器
HWP
热水泵
CRP
蒸汽冷凝水泵
ST-CT
蒸汽冷凝水箱
CR
洁净室
MAU
新风空调
VFD
变频器
FFU
风机过滤机组
ULPA
超高效空气过滤器
DCC
干冷盘管
EXH
排气系统
GEX
一般排气
SEX
酸性排气
AEX
碱性排气
VEX
有机排气
SCR
洗涤塔
PCW
工艺制程冷却水
PCWP
工艺制程冷却水泵
PHE
板式热交换器
Filter
过滤器
UPS
不间断电源系统
DySC
电压暂降补偿器
ET
膨胀水箱
PV
工艺真空
PVP
制程真空泵
PVTANK
制程真空罐
HV
清扫清扫
GHVAC
一般空调系统
OAHU
新风空调系统
PAHU?（RCU)
循环风空调系统
FCU?
风机盘管
EF?
排风机系统
CCTV
闭路电视监控系统
NVR
网络硬盘录像机
POE
以太网供电
TV?BOX
电视盒子
CMS
中央控制系统
SSR
固态继电器
GEN
柴油发电机
CTTS
闭路过渡式转换开关
ATS
自动转换开关
UPS
不间断电源系统
SCADA
数据采集与监视控制系统
RTU
远程终端单元
GPS
全球定位系统
MTR
主变
HV
高压
LV
低压
AC
交流电
DC
直流电
REC
插座
DYSC
电压暂降补偿器
ELEV
电梯
UPW
超纯水
UF
超过滤
Polish
抛光床
MDG
膜脱气
MB
混床
MDG
膜脱气
UV
紫外线杀菌机
TOC-UV
紫外线除TOC杀菌机
RO
反渗透
MMF
多介质过滤器
AC
活性炭过滤器
WC
弱阳树脂塔
2B
阳床，阴床
DG
脱气塔
PAC
聚合氯化铝
DO
溶解氧
TOC
总有机碳
Silica
可溶解硅
TUB
浊度
SDI
污染密度指数
WWT
废水处理系统
NS
中和废水处理系统
SS
悬浮物质
COD
化学需氧量
BOD
生物需氧量
HF
含氟废水处理系统
CMP
化学机械研磨
AMT
含氨废水处理系统
PDS
制程排水系统
DWWA
一般酸碱排放管路
DCHF
浓氢氟酸排放管路
DDHF
稀氢氟酸排放管路
DB/GW
晶背研磨排放管路
DFRW-Cu
铜制程初道冲洗水排放管路
DLRW
后道冲洗水排放管路
DCMP-clean
化学机械抛光废水排放管路
DF-FAB
地板排水排放管路
DIPA
异丙醇排放管路
Dsolvent-1
有机溶剂-1?排放管路
DWWA-Photo
Photo区一般酸碱排放管路
DH2SO4-Cu
铜制程初硫酸废液排放管路
DH2?SO4
硫酸废液排放管路
DH3PO4
磷酸废液排放管路
PLB
管道设备
DW
生活用水
PW
生产用水
DWW
生活温水
MW
中水
RWRS
雨水回收系统??
IWWS
工业污废水排水系统??
EEW
紧急冲身洗眼器?
GMS
气体监控系统
CDA
洁净的干燥的空气
XCDA
高纯的洁净的干燥的空气
HPCDA
高压的洁净的干燥空气
IA
仪表空气
PN2
制程氮气
GN2
一般氮气
PH2
制程氢气
PO2
制程氧气
PAr
制程氩气
PHe
制程氦气
CQC
连续质量控制
ASU
空气分离厂
TCN
制氮机
UPO
高纯度氧
THC
碳氢化合物总量
LIN
液氮
LOX
液氧
SGS
特殊气体系统
GC
气柜
GR
气架
BSGS
大宗特殊气体系统
ESG
电子特气
VDB/P
分配阀箱/盘面
VMB/P
阀箱/盘
EFS
过流切换装置
CV
单向阀
PT
压力传感器
PG
压力表
SCBA
自我控制呼吸装置
HPM
高危害的制成材料
GDS
气体监测系统
GIS
气体信息系统
UPS
不间断电源系统
RIO
远程输入输出盘
PLC
可编辑逻辑控制器
EMO
紧急停止
SCADA
数据采集与监视控制系统
TLV
阈限值
LDL
气体检测下限
LEL
气体爆炸下限
CDS
化学分供系统
SDS
研磨液分供系统
CCB
清洁连接设备
CDM
化学分供设备
T-BOX
T型盒
E-BOX
E型盒
SG
密度计
VG
真空表
LS
液位传感器
DP?Cell
压差液位计
HEPA
高效过滤器
DCP
数据集中盘
SOP
标准操作程序
TGCM
全面气体及化学品管理
MSDS
物质安全数据表
NMP
N-甲基-2-砒咯酮
I