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一种工业化生产高纯磷化铟多晶半导体材料的装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114875483 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202110073527.7 (22)申请日 2021.01.20 (71)申请人陕西铟杰半导体有限公司地址 72

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