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一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114878864 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210309413.2 (22)申请日 2022.03.28 (71)申请人斯棨信息科技（上海）有限公司地址

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