真空泵的维修保养.pdf

真空技术交流会 《真空泵故障分析及维修保养》 宁波爱发科真空技术有限公司 技术部 14.06.04 Page 1 Copyright ©2014,ULVAC,Inc.All rights reserved 目录 1、真空泵的维护和保养 2、各型号真空泵的常见故障及维修方法 VS VD GLD PVD NB NRL NWS DOP Page 2 Copyright ©2014,ULVAC,Inc.All rights reserved CS真空泵维修原因统计 维修泵主要不良现象及原因统计 真空泵不良主要原因为： ①密封件老化 ①密封件老化 定期保养更换 保养其它 极限压力不良 ②吸入水分、异物 18% 漏油 45% 设置过滤器、干燥器、油水分离器 6% ③油变质 定期换油，使用油净化装置 ①吸入水分、异物 ①密封件老化 ②吸入水分、异物 泵卡死 ③油变质 9% 电机不良 异常音 NB系列 机组 GLD系列 8% 14% 26 5 ①吸入水分、异物 PVD系列 227 ①电机品质不良 ②发热、叶片膨胀 ②使用方法错误 ③油变质 163 VS系列 31 VD系列 228 2013年各种泵维修数量统计（台） Page 3 Copyright ©2014,ULVAC,Inc.All rights reser