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一种电容器及其制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112825286 A (43)申请公布日 2021.05.21 (21)申请号 201911152619.3 (22)申请日 2019.11.20 (71)申请人中国科学院半导体研究所

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