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电容孔、电容器、DRAM及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114792757 A (43)申请公布日 2022.07.26 (21)申请号 202110099817.9 (22)申请日 2021.01.25 (71)申请人中国科学院微电子研究所地址 10

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