硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究.pdf

硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究 —— 流化床反应器的模拟与空管反应器的实验 报告人：刘思思 博士生 E-mail: ssliu0504@ 导 师：肖文德 教授 E-mail: wdxiao@ 上海交通大学化学化工学院 2014-11- ６ 研究背景  能源危机与新能源开发  太阳能电池  太阳能级多晶硅制备工艺  流化床反应器 vs. 钟罩式反应器  流化床硅烷裂解法的技术难题  难控制  多粉尘 上海交通大学化学化工学院 2014-11- ６ 2 太阳能 蒸汽能 核能 生物质能… 风能 清洁型能源 新型能源 二次能源 污染型能源 常规能源 水能 一次能源 电能 地热能… ！！！！ 煤炭 石油 天然气 上海交通大学化学化工学院 2014-11- ６ 3 太阳能（光） 电能（太阳能电池） 化学能（水解制氢） 热能（热水器） 单晶：效率高（19~24%），成本高 太阳能电池 硅系 多晶：效率（12~19%），成本较低 非晶：效率（8~13%），成本最低 多元化合物薄膜：GaAs、CdTe 纳米晶化学：尚处于研究初期 上海交通大学化学化工学院 2014-11- ６ 4 研究背景  能源危机与新能源开发  太阳能电池  太阳能级多晶硅制备工艺  流化床反应器 vs. 钟罩式反应器