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一种用于离子束刻蚀机开合门的连杆铰链导向机构.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213175232 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202020980937.0 (22)申请日 2020.06.02 (66)本国优先权数
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