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一种用于谐振子化学刻蚀的机构及自动化化学刻蚀设备.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117416924A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202311469267.0

(22)申请日2023.11.07

(71)申请人中国人民解放军国防科技大学

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