一种晶圆清洗过程中吹风气体流量控制方法及系统.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117804199A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202410232255.4
(22)申请日2024.03.01
(71)申请人江苏亚电科技股份有限公司
地址
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117804199A
(43)申请公布日2024.04.02
(21)申请号202410232255.4
(22)申请日2024.03.01
(71)申请人江苏亚电科技股份有限公司
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