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一种压电精密气体流量阀的复合控制系统及方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113359421 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110718302.2 (22)申请日 2021.06.28 (71)申请人 上海师范大学 地址
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