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一种大量程高精度硅谐振压力传感器芯片与制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114878030 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210488389.3 (22)申请日 2022.05.06 (71)申请人西安思微传感科技有限公司地址 7

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