一种高精度硅基压阻式压力传感器.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113008438 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202110217698.2
(22)申请日 2021.02.26
(71)申请人 西安微电子技术研究所
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