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一种真空腔体内膜材料辐照装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114883023 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210519299.6 (22)申请日 2022.05.13 (71)申请人中国科学院近代物理研究所地址 7

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