对称解耦式三自由度并联微动平台的设计-宁波大学学报理工版.PDF
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313, 20185
Vol.31 No.3, May 2018 JOURNAL OF NINGBO UNIVERSITY ( NSEE )
1 2 1 1 1 1∗
, , , , ,
1. , 315211; 2., 064400
: , . ,
, ;
, , . : 120 V
, xy θz 25.96 μm25.87 μm208 μrad; x y
39.73 nm140.95 nm, z 0.89 μrad.
: ; ; ;
: TN304.9 : A : 1001-5132201803-0040-05
100 μm, 0.75ʺ.
. Fung [6]
, , ,
, .
[1]; (MEMS) , Syahputra [7]
,
[2]; (AFM) ,
, . ,
[3]. (,
, ), ,
.
, Qin [8]
. ,
, , 11.6 μm,
665 Hz,
, 40 nm. Polit [9]
. , 2 ,
Lee [4] ,
2 , 15 μm, 1 nm. Lai
, 100 Hz, 50 nm. [10]
Kim [5] ,
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