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对称解耦式三自由度并联微动平台的设计-宁波大学学报理工版.PDF

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313, 20185 Vol.31 No.3, May 2018 JOURNAL OF NINGBO UNIVERSITY ( NSEE ) 1 2 1 1 1 1∗ , , , , , 1. , 315211; 2., 064400 : , . , , ; , , . : 120 V , xy θz 25.96 μm25.87 μm208 μrad; x y 39.73 nm140.95 nm, z 0.89 μrad. : ; ; ; : TN304.9 : A : 1001-5132201803-0040-05 100 μm, 0.75ʺ. . Fung [6] , , , , . [1]; (MEMS) , Syahputra [7] , [2]; (AFM) , , . , [3]. (, , ), , . , Qin [8] . , , , 11.6 μm, 665 Hz, , 40 nm. Polit [9] . , 2 , Lee [4] , 2 , 15 μm, 1 nm. Lai , 100 Hz, 50 nm. [10] Kim [5] ,
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