《ZnO薄膜的掺杂特性研究》-毕业论文（设计）.doc

精品 PAGE 精品 常州信息职业技术学院 学生毕业设计（论文）报告 系 别：电子与电气工程学院 专 业：微电子技术 班 号：微电082 学 生 姓 名： 学 生 学 号：0806030240 设计（论文）题目：ZnO薄膜的掺杂特性研究 指 导 教 师： 设 计 地 点：常州信息职业技术学院 起 迄 日 期：2010.5.4-2010.7.3 毕业设计（论文）任务书 专业 微电子技术 班级 微电082 姓名 一、课题名称： ZnO薄膜的掺杂特性研究 二、主要技术指标： 1. ZnO薄膜的电光和压电特性以及取向和缺陷； 2. ZnO薄膜的制备方法如化学气相沉积法、电子回旋加速器共振方法； 3. 无掺杂的P型ZnO及其同质P—N结； 4. 磷掺杂的P型ZnO 及其与n型ZnO基片构成的P一N结； 5. Ag掺杂制备P型ZnO及其同质P一N结； 6. 稀土掺杂的ZnO：Er薄膜； 三、工作内容和要求： 1. 上网查找毕业设计模板，学习毕业设计写作方法； 2. 上网查找并搜集与ZnO薄膜的制备、掺杂特性、光电特性、制作方法相关的技术资料； 3. 图书馆查阅并搜集与ZnO薄膜的制备、掺杂特性、光电特性、制作方法相关的技术资料； 4. 进行资料分析、归纳、总结，撰写毕业设计论文； 5. 与同学研究讨论，修改毕业设计论文； 6. 向老师请教，接受指导，完善毕业设计论文内容。 四、主要参考文献： [1] HYPERLINK /Abstract.htm?aid=OJ060517000211Xu1x4z傅广生,孙伟,吕学琴,王春生,尹质会,于威.自然掺杂及及N-AL共掺杂Zno薄膜的发光特 性[J],中国激光 2006,(33):549-551. [2] HYPERLINK /Abstract.htm?aid=OJ071017000026LhOkRn杨义发,龙华,杨光,戴能利,郑启光,陆培祥.温度对飞秒激光沉积ZnO/Si薄膜的结构和性能 的影响[J],中国激光,2007,34(9):1282-1286. [3] HYPERLINK /Abstract.htm?aid=OJ090210000133bHdKgN陈茜,谢泉,杨创华,赵凤娟.掺杂Mg2Si电子结构及光学性质的第一性原理计算[J],光学学 报,2009,(29):229-235. 学 生（签名） 2010年 5 月 7 日 指 导 教师（签名） 2010年 5 月 7 日 教研室主任（签名） 2010年 5 月 10 日 系 主 任（签名） 2010年5月 12 日 毕业设计（论文）开题报告 设计（论文）题目 ZnO薄膜的掺杂特性研究 选题的背景和意义： 随着时代的发展信息技术生物技术