用于具有槽路电容器的MEMS反射镜的电荷恢复驱动器.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114578545 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202111436780.0
(22)申请日 2021.11.29
(30)优先权数据
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