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用于具有槽路电容器的MEMS反射镜的电荷恢复驱动器.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114578545 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111436780.0 (22)申请日 2021.11.29 (30)优先权数据
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