一种低热应力、高电性能的同轴双环TSV结构及制备方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114566478 B
(45)授权公告日 2022.08.05
(21)申请号 202210455456.1 H01L 23/58 (2006.01)
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