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半导体制造装置部件的清洗装置、半导体制造装置部件的清洗方法及半导体制造装置部件的清洗系统.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113015583 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 201980074607.5 (74)专利代理机构北京德琦知识产权代理有限

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