MFC原理结构说明.pdf

MFCMFC原理結構說明原理結構說明 捷胤工業有限公司 總合研究所 (JISC) 捷胤工業有限公司捷胤工業有限公司 NEW JEIN CorpNEW JEIN Corp.. MFC簡介 •質流控制器（ Mass Flow Controller ）簡稱MFC 。簡 易的詮釋 MFC是一種流量與控制閥組的精密組機 電組合，其測量方式與一般流量計最大的差別， 是在於它是利用熱感溫差是在於它是利用熱感溫差 、非接觸方式測量氣體非接觸方式測量氣體 之質量流速。 • MFC應用於I C 工業、真空工業、食品工業、化 學工業以及醫療儀器等行業，需要求高精確度、 高穩定度及高品質等氣體流量控制，如：蝕刻、 物理物理、化學氣相沉積化學氣相沉積 、高穩定度來達成高穩定度來達成 ，其應用其應用 之層面乃遍佈高科技產業。 捷胤工業有限公司捷胤工業有限公司 NEW JEIN CorpNEW JEIN Corp.. MFC 主要結構 Connector Zero switch PCB Mass flow sensor ControlControl valvevalve Intel Outlet Bypass Block 捷胤工業有限公司捷胤工業有限公司 NEW JEIN CorpNEW JEIN Corp.. MFC 本體(Block) • 製程製程氣體中許多是有腐蝕性或容易液氣體中許多是有腐蝕性或容易液 化的氣體化的氣體 ，其與氣體接觸的部份均是其與氣體接觸的部份均是 以抗腐蝕性強的SUS‐316L做為材質， 整顆鑄造而成整顆鑄造而成 。。 捷胤工業有限公司捷胤工業有限公司 NEW JEIN CorpNEW JEIN Corp.. MFC‐分流器(Bypass) • 分流器位於本體主要流道中間，當氣體進入MFC內，大 約約有有 96%96% 以上以上氣體流經分流器後匯集到控制閥入口氣體流經分流器後匯集到控制閥入口 ，，而而 其餘小部分則流入流量計的感測器管路內。 DiskDisk bypassbypass LinearLinear flowflow bypassbypass MeshMesh bypassbypass 捷胤工業有限公司捷胤工業有限公司