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一种太赫兹有源超表面振幅型空间调制器.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113406815 B (45)授权公告日 2022.08.16 (21)申请号 202110547775.0 审查员 刘翠萍 (22)申请日 2021.05.19
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