新型智能电化学微加工系统的研究！.PDF

中国科技论文在线 刘品宽等：新型智能电化学微加工系统的研究 新型智能电化学微加工系统的研究! ! ! 刘品宽 孙立宁 荣伟彬 蒋利民 田昭武 （哈尔滨工业大学机器人研究所 哈尔滨150001） ! （厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室 厦门361005） 摘 要 约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂 层技术的工艺特点，介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成，讨论了具有微力传感 的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器，在半导体GaAs 进行刻蚀加 工，复制出微孔阵列，其排列周期与模板的微锥阵列的排列周期吻合得很好，同时在铜板 上也成功进行了微孔刻蚀加工。 关键词 约束刻蚀剂层技术，纳米级微定位，压电陶瓷驱动器 和紫铜进行刻蚀加工实验的情况。 0 引言 1 CELT 电化学微加工系统的组成 微 纳米技术是 世纪最具有发展前途的高新 / 21 技术之一，而微机电系统（ ）将成为微 纳米技 如图 所示， 电化学微加工系统主要由以 MEMS / 1 CELT 术中的核心关键之一。为充分发挥微机电系统的功 下几部分组成：（ ）轴大行程运动工作台（运动行 1 Z 能，需制备较为复杂和高性能的微系统，从而推动了 程 ）；（ ）用于探针进给的微定位工作台（运动 80mm 2 新型的超微三维图形加工技术的发展。 年代中 行程 ）；（ ）微力传感器；（ ）加工探针；（ ）电化 80 20 m 3 4 5 # 期以后发展起来的 加工、微细电火花加工 学加工用的电解槽；（ ）， 轴大行程运动工作台 LIGA 6 X Y （ ）、超声波加工等微细加工方法只能加工简单 （运动行程 ）；（ ）底座；（ ）微驱动控制器；（ ） EDM 25mm 7 8 9 的三维图形，对于复杂三维图形的加工需要研究新 微力控制器；（ ）电化学加工电脉冲控制器；（ ） 10 11 的加工方法。针对这一难题，田昭武院士等提出的 轴宏运动控制器；（ ）控制用计算机。 XYZ 12