相变对ZrO2／SiO多层膜激光损伤阈值的影响-山东大学学报工学版.PDF

第 卷 第 期 ３９ １ 山 东 大 学 学 报 （工 学 版） 年 月 ２００９ ２ Ｖｏｌ．３９ Ｎｏ．１ （ ） Ｆｅｂ．２００９ ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧＳＣＩＥＮＣＥ 文章编号： （ ） １６７２３９６１２００９０１０１１４０４ 相变对ＺｒＯ／ＳｉＯ 多层膜激光损伤阈值的影响 ２ ２ 吴师岗 （山东理工大学材料科学与工程学院，山东 淄博 ２５５０４９） 摘要：用电子束蒸发法制备出 和 多层膜，分别测定了薄膜结构特性和激光损伤阈值 实验结 ＺｒＯ／ＳｉＯ ＹＳＺ／ＳｉＯ ． ２ ２ ２ 果表明： 稳定的 镀膜材料在电子束蒸发过程中不会发生相变，而未稳定的 则必然发生相变产生喷 ＹＯ ＺｒＯ ＺｒＯ ２ ３ ２ ２ 溅，使缺陷增加，从而使损伤阈值降低 通过分析认为相变引起的缺陷是 和 高反膜损伤阈值 ． ＹＳＺ／ＳｉＯ ＺｒＯ／ＳｉＯ ２ ２ ２ 差别的主要原因． 关键词：相变；稳定；缺陷；激光损伤阈值 中图分类号： 文献标志码： Ｏ４８４ Ａ Ｔｈｅｅｆｆｅｃｔｏｆｐｈａｓｅｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｎｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄ ｄａｍａｇｅｔｈｒｅｓｈｏｌｄｏｆＺｒＯ／ＳｉＯｏｐｔｉｃａｌｃｏａｔｉｎｇｓ ２ ２ ＷＵＳｈｉｇａｎｇ （ ， ， ， ） ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＳｈａｎｄｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＺｉｂｏ２５５０４９ Ｃｈｉｎａ ： ， ＡｂｓｔｒａｃｔＺｒＯ／ＳｉＯａｎｄＹＳＺ／ＳｉＯ ｏｐｔｉｃａｌｃｏａｔｉｎｇｓｗｅｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｂｙｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ ａｎｄｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ ２ ２ ２ （ ） ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓａｎｄｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄｄａｍａｇｅｔｈｒｅｓｈｏｌｄＬＩＤＴ ｗｅｒｅｍｅａｓｕｒｅｄ．Ｔｈｅｓｅｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｉｃａｔｅｔｈａｔｄｕｒｉｎｇｔｈｅｃｏｕｒｓｅｏｆｅｌｅ