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原子层蚀刻方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113013031 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011416533.X (22)申请日 2020.12.07 (30)优先权数据 10-2019-0

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