一种ITO薄膜激光蚀刻设备及蚀刻方法.pdf
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SooPAT
一种ITO薄膜激光蚀刻设备及蚀刻
方法
申请号：200710077447.9
申请日：2007-11-30
申请(专利权)人 深圳市大族激光科技股份有限公司
地址 518057广东省深圳市南山区高新科技园松坪山工厂区5号路
8号
发明(设计)人 高云峰 陈夏弟 郑其锋 倪鹏玉 程文胜 李世印 王文 王小
博
主分类号 B23K26/08(2006.01)I
分类号 B23K26/08(2006.01)I B23K26/42(2006.01)I
B23K26/14(2006.01)I B23K26/40(2006.01)I
公开(公告)号 101450419
公开(公告)日 2009-06-10
专利代理机构
代理人
注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利
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