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一种陶瓷电容式压力传感器芯体及制作方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112834084 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011586941.X (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人襄阳臻芯传感科技有限公司

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